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刻蚀上下料机
产品特点
更高产能可达到8000pcs/h
可根据客户需求选配在线隐裂检测
特制精密陶瓷吸盘,减少硅片划伤
技术参数
技术参数
相关参数
产能
4000/6500/8000 pcs/h
硅片列数
5/8/10
硅片尺寸
166mm-210mm
适用花篮
100 cassette
碎片率
≤0.03%
开机率
≥98%
耗气量
200L/min
具体参数如有变动,本公司不另行通知!
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